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浙江省杰出青年基金

严天宏

男,19715月出生。19993月于哈尔滨工业大学获得博士学位,于200011月开始受邀于新加坡南洋理工大学微系统力学中心作Research Fellow,20028月开始加盟ASM亚太研究中心。现任中国计量学院机电工程学院教授、副院长。参加和主持了国内外(科技部、中国航天科技集团,中科院重大知识创新、新加坡政府、世界第一大半导体封装设备供应商ASM亚太,上海市科委等) 多项大型高新项目的研究,主要参加和承担过国家十五与863重大专项,承担2项有关的重大专项的子项目。

主要从事高速超精半导体装备,如后道微电子封装设备(如引线键合机等)、前道制造设备(100nm步进扫描光刻机)的研究工作。多次受邀参加国内外举办的高水平的学术会议等。于20068月获上海浦江人才计划资助的项目双轴驱动高速高精工件台研制”(A),在20088月获评出色地完成;200712月曾荣获教育部自然科学奖一等奖(第二完成人)等多个项目奖。

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